| 種類 | 名称 | 現在値 | 赤設定 | 黄設定 |
| 真空 | VG7 | 2.8E-5 Pa | 1.0E-2 Pa 2.0E-2 | 1.0E-3 Pa 2.0E-3 |
| VG8 | 9.2E-6 Pa | 1.0E-2 Pa 2.0E-2 | 1.0E-3 Pa 2.0E-3 | |
| VG9 | 2.9E-5 Pa | 1.0E-2 Pa 2.0E-2 | 1.0E-3 Pa 2.0E-3 | |
| VG10 | 2.9E-5 Pa | 1.0E-2 Pa 2.0E-2 | 1.0E-3 Pa 2.0E-3 | |
| IG1 | 1.82E-8 Pa | 1.0E-5 Pa | 1.0E-5 Pa | |
| IG2 | 3.62E-8 Pa | 1.0E-5 Pa | 1.0E-5 Pa | |
| IG3 | 1.52E-7 Pa | 1.0E-5 Pa | 1.0E-5 Pa | |
| IG4 | 1.04E-7 Pa | 1.0E-5 Pa | 1.0E-5 Pa | |
| IG5 | 9.2E-8 Pa | 1.0E-5 Pa | 1.0E-5 Pa | |
| 圧空 | メイン | 0.6 MPa | 0.39MPa | |
| 冷却水 | メイン | 30l/min以上 | 3l/min | |
| FE Be窓 | 4l/min | 2l/min |